等离子清洗机的活化的原理是：工艺部件表面通过氧气或空气处理后，会在表面形成氧原子团，这样能使部件表面亲水性和表面张力提高，能使涂料和粘接剂更好的附着于上，提高其的粘合力和附着力。
等离子清洗机（Plasma Cleaner）又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、Plasma清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理机广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子晶圆去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子活化和等离子表面处理等场合，通过等离子清洗机的表面处理，能够改善材料表面的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂.
等离子清洗机的材料表面活化的应用是很多的，如粘接，上胶，印刷，上漆，涂装等等， 等离子清洗机不分处理对象的基材类型，几何形状均可进行处理，对金属、半导体、氧化物、微流控芯片PDMS键合、ITO、FTO、SEBS、硅片、二氧化硅、高分子材料、石墨烯粉末、金属氧化物粉末等都能很好地处理，等离子清洗机可实现整体和局部以及复杂结构的清洗、活化、改性、刻蚀。
PDMS基体等离子体清洗机处理提升键合工艺效果
等离子清洗机处理是在真空状态下高频发生器将气体电离产生等离子体(物质第四态)进行表面活化改性处理的工艺。等离子体是由部分电子被剥夺后的原子以及原子被电离所产生的正负电子组成的离子化气体状物质它是除固、液、气外物质存在的第四态。这些高度活跃微粒子和被处理的材料表面发生作用，使惰性的聚合物表面活化提升其亲水性，增强界面的交互作用且使单层分子更容易扩散到其表面，使PDMS基体表面得以改性*终实现其与多种材料键合。