等离子清洗机处理能获得满意的剖面,钻孔小,选对表面和电路的损伤小,清洁、经济、**。择比大,刻蚀均匀性好重复性高。等离子清洗机处理过程中不会引入污染,洁净度高。
晶圆光刻蚀胶等离子清洗机与传统设备相比较,设备成本不高,加上清洗过程气固相干式反应,干式处理工艺无污染,无废水,符合环保要求,不需要使用价格较为昂贵的有机溶剂,这使得整体成本要低于传统的湿法清洗工艺。此外,等离子清洗机解决了湿法去除晶圆表面光刻胶反应不准确、易引入杂质、清洗不彻底等缺点。不需要有机溶剂,对环境也没有污染,属于低成本的绿色清洗方式