等离子清洗机主要适用于各种材料的表面改性处理∶表面清洗、表面活化、表面刻蚀、表面接枝、表面沉积、表面聚合以及等离子体辅助化学气相沉积。
等离子清洗机的表面改性：纸张粘合，塑料粘接、金属锡焊、电镀前的表面处理；等离子清洗机的表面活化：生物材料的表面修饰，印刷涂布或粘接前的表面处理，如纺织品的表面处理；等离子处理机表面刻蚀：硅的微细加工，玻璃等太阳能领域的表面刻蚀处理，医疗器皿表面刻蚀处理；等离子清洗设备的表面接枝：材料表面特定基团的产生和表面活化的固定；等离子处理设备的表面沉积：疏水性或亲水性层的等离子体聚合沉积；
等离子清洗机（Plasma Cleaner）又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、Plasma清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理机广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子晶圆去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子活化和等离子表面处理等场合，通过等离子清洗机的表面处理，能够改善材料表面的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂.
等离子清洗机属于干式清洗设备，可以省去湿化学加工过程中不可缺少的干燥，污水处理等过程，与其他处理方法相比，等离子清洗机既能改变材料表面性质，又可以不分处理对象，可以接触多种材料，无论是金属、半导体、氧化物、聚合物等。