应用等离子清洗机的化学反应对微流控生物芯片的处理：芯片与芯片的键合，芯片与玻璃的键合等。在材料的表面处理过程中，等离子清洗机等明显提高浸润性，并形成活性表面；清洁灰尘和油污，精细清洁和消除静电；提供功能性表面，通过表面涂层处理，提高表面粘着能力，提高表面粘着的可靠性和持久性；
等离子清洗机（Plasma Cleaner）又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、Plasma清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理机广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子晶圆去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子活化和等离子表面处理等场合，通过等离子清洗机的表面处理，能够改善材料表面的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂
等离子清洗机的表面处理可用于高分子材料、复合材料、金属、陶瓷、纤维等材料的表面清洗、活化和刻蚀等工艺，以提高材料的表面能与附着力，改善其粘接性、可印刷性、色牢度等
等离子清洗机不但能清洗掉表面的污物，而且还能增强材料表面的粘附性能。等离子清洗机除去不可见的油膜、微小的锈迹和其它由于用户接触室外暴露等等在表面形成的这类污物，而且，等离子清洗机不会在表面留下残余物。