PDMS材料表面处理，等离子清洗机提升键合封装效果，等离子键合可以用于微流控芯片制造。为了将PDMS芯片长久地粘合到载玻片上,使用等子清洗机来改变玻璃和PDMS的表面特性。等离子体清洗机的处理将改变表面化学特性并允许PDMS与通道粘在其他基板( PDMS或玻璃)上。
等离子清洗机（Plasma Cleaner）又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、Plasma清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理机广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子晶圆去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子活化和等离子表面处理等场合，通过等离子清洗机的表面处理，能够改善材料表面的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂.
等离子清洗机典型的应用： 引线键合倒装芯片底部填充，器件的封装和解封 光刻胶灰化、除渣、硅片清洗 PDMS/微流控/载玻片/芯片实验 去除的扫描电镜/电镜样品上碳氢污染物 改善金属与金属或复合材料的结合 改善塑料、聚合物和复合材料的粘接
等离子清洗机活化设备，应用于电子行业的手机壳印刷、涂覆、点胶等前处理，手机屏幕的表面处理；连接器表面清洗；通用行业的丝网印刷、转移印刷前处理等。