采用等离子体清洗机,可轻松去除生产过程中产生的分子级污染,从而显著提高了封装的可制造性、可靠性和成品率。等离子清洗机(Plasma Cleaner)又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、Plasma清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理机广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子晶圆去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子活化和等离子表面处理等场合。
等离子体清洗机是一种有效、低成本的清洗设备,能有效去除基板表面可能存在的污染物。通过等离子清洗机的表面处理,能够改善材料表面的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂,
在芯片封装中,关键前采用等离子体清洗机清洗芯片和载体可以提高其表面活性,可以有效防止或减少间隙,提高附着力。