等离子体清洗机不分处理对象可以处理各种各样的材质，无论是金属、半导体、氧化物，还是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物）都可以使用等离子体清洗机来处理，因此特别适合于不耐热以及不耐溶剂的材质，等离子清洗机还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清洗；如金属器材表面附着有油脂、油污等有机物和氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前，通过等离子清洗机的处理可以获得洁净和无氧化层的表面。等离子清洗机可以除去器材表面细小的油膜、锈迹或其他油类污物，而且在等离子清洗机工作后，不会在器材表面留下残余物
等离子清洗机（Plasma Cleaner）又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、Plasma清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理机广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子晶圆去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子活化和等离子表面处理等场合。
在经过低温等离子体清洗机的表面处理后，材料表面会发生多种物理、化学变化。可用于去除碳化氢类污物，如油脂，辅助添加剂等，或产生刻蚀而粗糙，或形成致密的交联层，或引入含氧极性基团（羟基、羧基），通过等离子体清洗机的处理得到了表面亲水性、拒水性、低摩擦、高度清洁、激活、蚀刻等各种表面改性。
应用等离子体清洗机处理表面可以得到非常薄的高张力涂层表面，有利于粘合、涂覆和印刷，不需其他机器、化学处理等强烈作用成份来增加粘合性。通过等离子清洗机的表面处理，能够改善材料表面的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂，