等离子清洗机作为一种绿色无污染的高精密干法清洗方式,可以有效去除表面污染物,避免静电损伤。在集成电路的制程中,会产生许多种类的污染物,包括氟化树脂、氧化物、环氧树脂、焊料、光刻蚀剂等,这些污染物将严重影响集成电路及其元器件的可靠性和合格率。等离子清洗机作为一种能有效去除表面污染物的工艺技术被广泛应用于集成电路的制程中。
等离子清洗机有几种称谓,英文叫(Plasma Cleaner)又称等离子体清洗机,等离子清洗器,等离子清洗仪,等离子刻蚀机,等离子表面处理机,电浆清洗机,Plasma清洗机,等离子去胶机,等离子清洗设备。等离子清洗机/等离子处理机/等离子处理设备广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子处理和等离子表面处理等场合。 通过等离子清洗机的表面处理,能够改善材料表面的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂,等离子体清洗机可以不分处理对象,它可以处理各种各样的材质,无论是金属、半导体、氧化物,还是高分子材料都可以使用等离子体清洗机来处理,