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技术文章
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等离子清洗机半导体封装

采用等离子清洗机可轻松去除生产过程中产生的分子级污染,从而显著提高了封装的可制造性、可靠性和成品率。等离子清洗机采用的是“干式”的清洗工艺,能有效去除基板表面可能存在的污染物。将等离子清洗设备应用于半导体封装用:等离子表面活化/清洗; 2.等离子清洗机处理后的键合; 3.等离子蚀刻/活化; 4. 5.血浆去角质;等离子涂层(亲水、疏水); 6. 加强键; 7.等离子涂层 8. 用于等离子灰化和表面改性。等离子清洗机处理可以提高材料表面的润湿性,封装等离子体表面处理机进行各种材料的涂镀、电镀等操作,提高粘合强度和粘合强度,同时去除有机污染物、油和油脂。


等离子清洗机对材料表面无机械损伤,无需化学溶剂,等离子体清洗机处理后,关键强度和关键丝张力的均匀性会显著提高,对提高关键丝的关键强度有很大的作用。

等离子清洗机 / 等离子刻蚀机 / 等离子处理机 / 等离子去胶机 / 等离子表面处理机

等离子清洗机有几种称谓,英文叫(Plasma Cleaner)又称等离子体清洗机,等离子清洗器,等离子清洗仪,等离子刻蚀机,等离子表面处理机,电浆清洗机,Plasma清洗机,等离子去胶机,等离子清洗设备。等离子清洗机/等离子处理机/等离子处理设备广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子处理和等离子表面处理等场合。通过等离子清洗机的表面处理,能够改善材料表面的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂



在引线关键之前,可以利用等离子清洗机清洗芯片接头,提高关键强度和成品率。

等离子清洗机增加了填充物的边缘高度,提高了封装的机械强度,减少了因材料之间热膨胀系数不同而在界面之间形成的剪应力,提高了产品的可靠性和使用寿命。


为铜暴露在空气中或在有水的作用下,很容易使铜发生氧化反应,所以不太可能长时间处于原铜状态,此时需要对铜进行特殊处理,即等离子清洗机的表面处理工艺。

等离子体清洗机广泛应用于PBGAS及倒装晶片过程中和其它基于聚合物的衬底,以利于粘结,减少分层。


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