微波等离子清洗机采用高密度微波等离子清洗技术，用于半导体生产中晶圆的清洁和等离子体预处理，微波等离子清洗机具有高度活性、高效，且不会对电子装置产生离子损害。
·其它等离子体系统应用
等离子清洗机，等离子去胶机
1 等离子表面活化/清洗 5.等离子涂镀（亲水，疏水）
2.等离子处理后粘合 6.增强邦定性
3. 等离子蚀刻/活化 7.等离子涂覆
4. 等离子去胶 8.等离子灰化和表面改性，等离子接枝聚合等场合